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小漏和微漏就比較難查了,大家常用的方法是利用在高真空狀態下水環式真空泵電離管對某些氣體反應敏感來檢漏,比如丙酮或乙醇,用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇,噴到漏點時,電離計的指針會有明顯擺動。一定要等到電離計的指示值穩定了也就是水環式真空泵的抽氣能力和漏率平衡了,然后再噴射。建議是反復幾次,確認漏點。
內漏多發生在帶水冷夾套的設備上,檢查外漏時無疑會發現,但存在以下現象:水環式真空泵,抽速明顯偏低,真空計指示值偏低,潤滑油乳化快,真空室鐵基零件明顯腐蝕。具備以上條件,基本可以確定內漏。這時我們得首先清洗內壁,然后通過冷卻水,看看是否有濕點,濕潤處就是漏點。
火焰法則可以找到較大的泄漏點。利用氣流會使火焰偏離的原理,先抽真空,比如用蠟燭或打火機一步步在可疑點周圍搜索,發現火焰偏離到泄漏點,就可以找到泄漏點。